应力检测仪的几种测量方法-w66.com

　　应力检测仪的测量方法：

　　1.标准测量

　　标准测量方法采集样品3个方向的应力值（0°60°120°），zui终得出应力大小，标准测量方法的测量精度zui高，测量范围在0~74nm，是日常的检测的常用方法。

　　特点：测量时间较短，单次测量一般小于30s，结果中会同时给出样品应力的大小及方向。

　　2.单方向测量

　　在测量时，应力检测仪只采集单一方向应力值，即偏振方向是固定的，默认值0°（即为图像中45°倾斜方向），并且可以自定义偏振角方向，zui后得出在该方向上的应力分布。

　　特点：使用单方向测量方法得出测量结果中可以观察到光延迟的正/负值，或者可以理解为应力是来自样品自身的张力还是外界造成的压力。

　　3.多方向测量

　　在多方向测量中，应力检测仪采集的是六个方向的应力值（0°,15°,30°,…75°），通过计算得出zui后的应力大小。多方向测量方法的测量范围要大于标准测量方法，在标准测量方法中，当光延迟大于74nm时，测试结果的图像中会观察到白线圈出的红色区域出现，这时需要使用多方向测量方法进行测量，测量范围0~295nm。

　　注意：在多方向测量结果中，并不能地给出测试样品的应力方向，并且会降低测量精度，增加测量时间。